波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅

摘要

一种波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅，适用于波长从600纳米到1800纳米的可见光到近红外波段，光栅的占空比为0.5，入射条件与归一化结构参数不因波长而变化。相应归一化结构参数为：入射波长与光栅周期的比值为1.47～1.48，光栅槽的刻蚀深度与光栅周期的比值为3.20～3.21。在上述波段内该光栅具有很好的偏振无关分束效果，尤其在1064纳米波长时可将TE或TM两种偏振光等强度的分束到0级和-1级。实际制作本发明波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅，可由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，工艺成熟，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。

主权项

一种用于600纳米到1800纳米的可见光到近红外波段的波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅，光栅的占空比为0.5，其特征在于该分束光栅的归一化结构参数为：入射波长与光栅周期的比值为1.47～1.48，光栅槽的刻蚀深度与光栅周期的比值为3.20～3.21。