主权项 |
高精度激光陀螺低散射光学表面高洁净清洗方法,其特征在于,清洗环境应满足下述要求:洁净度:1000级;温度:22±5℃;湿度:50%~70%;低散射光学表面高洁净清洗操作步骤如下:1.1、2.5%~3.5%FA/O清洗液超声清洗;1.1.1、浸泡:将被清洗零件放在清洗夹具上,再将夹具放入清洗盒中,注入2.5%~3.5%FA/O清洗液至浸没零件,浸泡2h~2.5h;1.1.2、超声波清洗:将清洗盒放入超声波清洗机中清洗9min~11min;1.1.3、冲洗:将零件取出后用流动去离子水冲洗3min~5min;1.2、无水乙醇超声清洗:1.2.1、将装有零件的夹具放入清洗盒中,注入无水乙醇至浸没零件;1.2.2、超声波清洗:将清洗盒放入超声清洗机中清洗9min~11min;1.2.3、更换清洗盒中的无水乙醇后,重复步骤1.2.2一次;1.3、去离子水超声清洗:将装有零件的夹具放入清洗盒中,注入去离子水至浸没零件;将清洗盒放入超声清洗机中清洗9min~11min;1.4、双氧水超声清洗:1.4.1、将装有零件的夹具放入清洗盒中,注入双氧水至浸没零件;1.4.2、超声波清洗:将清洗盒放入超声清洗机中清洗7min~9min;1.4.3、冲洗:将零件用流动去离子水冲洗3min~5min;1.4.4、更换清洗盒中的双氧水后,重复步骤1.4.2~1.4.3一次;1.5、去离子水超声清洗:将装有零件的夹具放入清洗盒中,注入去离子水至浸没零件;将清洗盒放入超声清洗机中清洗9min~11min;1.6、去离子水兆声清洗:1.6.1、安装被清洗零件;在甩干机上安装好固定被清洗零件的甩干夹具,将消静电器安装在甩干机的侧上方,并打开消静电器开关;在甩干机上方固定喷射离子水的兆声清洗喷口,将被清洗零件装入甩干夹具中,光胶面向上;调节兆声清洗喷口距被清洗零件表面3mm~5mm;1.6.2、兆声清洗:打开去离子水开关,然后打开兆声清洗开关进行兆声清洗4min~6min;<pb pnum="1" />1.7、甩干:打开甩干开关进行甩干,甩干机转速为4000rpm~6000rpm,甩干时间为2min~2.5min。<pb pnum="2" /> |