一种轴快流气体激光器装置

摘要

本发明公开了一种轴快流气体激光器装置，包括谐振腔、气体循环冷却器、平面板、放电电极、射频电源和气体泵，其中谐振腔还包括：前反镜、折反镜、后反镜、放电管和光路支架，所述光路支架连接多根所述放电管并排列成矩形光路，在光路拐弯处安装所述折反镜，在光路两端安装所述前反镜和后反镜，在所述放电管上安装所述放电电极，所述放电电极连接到所述射频电源，在所述射频电源的激励下所述放电管的气体被射频激发形成等离子体而产生辉光放电现象，入射到(产生激光的气体的)等离子体的一个光子，所述等离子体会产生两个光子射出，光子在所述前后反射镜之间的光路上来回振荡产生激光，所述光路支架安装在所述平面板上，所述平面板背面安装所述气体循环冷却器，在所述气体泵的作用下所述产生激光后的气体在所述气体循环冷却器内冷却并循环利用。

主权项

一种轴快流气体激光器装置，包括：谐振腔、气体循环冷却器、平面板、放电电极、射频电源和气体泵，其中谐振腔还包括：前反镜、后反镜、放电管和光路支架；其特征在于：所述光路支架固定于放电管两端起连通光路和气路的作用，处于两根放电管中间的所述光路支架连通前和后两根所述放电管的光路和气路，两根所述放电管轴线重合，并在所述前光路支架上安装所述前反镜，在所述后光路支架上安装所述后反镜，所述前、中、后三个光路支架都安装在所述平面板上，所述前后反射镜均与光路垂直，在所述平面板对应的所述前中后光路支架的下方位置分别开三个连接孔，使放电管的气路与处于所述平面板背面的所述气体循环冷却器的气路连通，所述气体循环冷却器的气路连接到所述气体泵，在所述气体泵的作用下所述气体通过所述气体循环冷却器的冷却，再通过前和后所述光路支架吹向所述放电管，通过所述中间光路支架来到所述气体循环冷却器最后回到所述气体泵，形成循环气路，使产生激光的所述气体循环利用，在所述放电管外表面安装一对(长条形)所述放电电极，所述放电电极包住所述放电管，在所述放电电极上注入射频功率，在所述射频电源的激励下所述放电管的气体被射频激发形成等离子体而产生辉光放电现象，入射到(产生激光的气体的)等离子体的一个光子，所述等离子体会产生两个光子射出，光子在所述前后反射镜之间的光路上来回振荡产生激光，所述前反镜为半透镜，谐振腔内的激光通过所述半透镜射出。