发明名称 一种射频传输中实现阻抗匹配的方法和一种阻抗匹配装置
摘要 本发明提供了一种射频传输中实现阻抗匹配的方法,包括:校准步骤,根据阻抗检测结果对传感器进行校准,确定优化的矩阵参数;检测步骤,针对当前负载,采用传感器采集电压和电流信息,依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位;调整步骤,调整匹配网络中的可变元件,实现阻抗匹配。由于本发明能够通过精确度高的阻抗测量工具对传感器进行校准,即通过阻抗测量工具测量的阻抗|Z|∠θ和传感器的输出信号An×1,对鉴幅和鉴相算法中的参数进行优化,从而可以降低模拟电路易受温度、功率等因素的影响,即提高了传感器的测量精度,保证了阻抗匹配的速度和精度。
申请公布号 CN101754570A 申请公布日期 2010.06.23
申请号 CN200910243877.2 申请日期 2009.12.24
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 张文雯
分类号 H05H1/46(2006.01)I 主分类号 H05H1/46(2006.01)I
代理机构 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人 苏培华
主权项 一种射频传输中实现阻抗匹配的方法,其特征在于,包括:校准步骤,根据阻抗检测结果对传感器进行校准,确定优化的矩阵参数;检测步骤,针对当前负载,采用传感器采集电压和电流信息,依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位;调整步骤,调整匹配网络中的可变元件,实现阻抗匹配。
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