发明名称 |
一种射频传输中实现阻抗匹配的方法和一种阻抗匹配装置 |
摘要 |
本发明提供了一种射频传输中实现阻抗匹配的方法,包括:校准步骤,根据阻抗检测结果对传感器进行校准,确定优化的矩阵参数;检测步骤,针对当前负载,采用传感器采集电压和电流信息,依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位;调整步骤,调整匹配网络中的可变元件,实现阻抗匹配。由于本发明能够通过精确度高的阻抗测量工具对传感器进行校准,即通过阻抗测量工具测量的阻抗|Z|∠θ和传感器的输出信号An×1,对鉴幅和鉴相算法中的参数进行优化,从而可以降低模拟电路易受温度、功率等因素的影响,即提高了传感器的测量精度,保证了阻抗匹配的速度和精度。 |
申请公布号 |
CN101754570A |
申请公布日期 |
2010.06.23 |
申请号 |
CN200910243877.2 |
申请日期 |
2009.12.24 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
张文雯 |
分类号 |
H05H1/46(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/46(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 |
代理人 |
苏培华 |
主权项 |
一种射频传输中实现阻抗匹配的方法,其特征在于,包括:校准步骤,根据阻抗检测结果对传感器进行校准,确定优化的矩阵参数;检测步骤,针对当前负载,采用传感器采集电压和电流信息,依据优化的矩阵参数计算获得负载阻抗的模值和相位;调整步骤,调整匹配网络中的可变元件,实现阻抗匹配。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 |