探针头阵列

摘要

用于测试半导体晶片上所形成的器件的探针头(12)包括多个探针DUT(被测器件)阵列(16)。各被测器件包括一些焊点，促使这些焊点与相对应的探针DUT阵列(16)中的探针(18、20)压接起来。探针阵列图形具有像凹入、凸出、岛和开口等不连续性，当探针(18、20)接触焊点时这些图形至少与一个器件相对。

主权项

一种对半导体晶片上形成的器件进行测试的接触器，所述接触器包括用于与所述器件上形成的焊点相接触的探针阵列，所述探针阵列包括围绕着所述探针阵列中的开口而设置的多个相邻的探针DUT阵列，当所述探针阵列接触所述焊点时，所述开口位于至少一个器件之上，其中，所述多个相邻的探针DUT阵列被放置为接触由多个器件中的多个邻近器件形成的闭合回路上的所述焊点，所述开口对应于所述闭合回路内放置的所述至少一个器件；所述多个相邻的探针DUT阵列被设置为接触所述闭合回路上的所述多个器件，而不接触所述闭合回路内放置的所述至少一个器件。