发明名称 |
一种改善蓝宝石衬底上GaN厚膜完整性的方法 |
摘要 |
改善蓝宝石衬底上GaN厚膜完整性的方法,采用HVPE工艺,包括下述步骤:1)采用的衬底是蓝宝石或Si;2)将上述衬底经过清洗、吹干后,放入HVPE生长系统中,先生长低温GaN缓冲层,缓冲层生长温度550-750℃,生长时间30-300s;3)将生长温度升高至850-950℃,在该温度下进行GaN生长,时间30-300s;4)维持步骤3生长条件开始升温生长,直到生长温度提升至1050-1100℃,继续进行GaN的HVPE生长,直到得到所需厚度的GaN薄膜;5)生长完成后缓慢降温至室温,降温速率不高于10℃/分钟。 |
申请公布号 |
CN101431017B |
申请公布日期 |
2010.06.23 |
申请号 |
CN200810235279.6 |
申请日期 |
2008.12.03 |
申请人 |
南京大学 |
发明人 |
修向前;张荣;陆海;华雪梅;谢自力;韩平;顾书林;施毅;郑有炓 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
南京天翼专利代理有限责任公司 32112 |
代理人 |
汤志武;王鹏翔 |
主权项 |
改善蓝宝石衬底上GaN厚膜完整性的方法,采用HVPE工艺,反应源材料为金属镓与HCl或三甲基镓、载气NH3;其特征是包括下述步骤:1)、采用的衬底是蓝宝石或Si,2)、将上述衬底经过清洗、吹干后,放入HVPE生长系统中,先生长低温GaN缓冲层,缓冲层生长温度550-750℃,生长时间30-300s;3)、将生长温度升高至850-950℃,在该温度下进行GaN生长,时间30-300s;4)、维持步骤3生长条件开始升温生长,在该过程中GaN生长一直持续进行;直到生长温度提升至1050-1100℃,继续进行GaN的HVPE生长,直到得到所需厚度的GaN薄膜;升温即变温生长升温时间0.5-2小时,在升温过程中生长GaN薄膜的厚度不能低于50微米;5)、生长完成后缓慢降温至室温,降温速率不高于10℃/分钟。 |
地址 |
210093 江苏省南京市汉口路22号 |