| 发明名称 | 具有防尘功能的微机电元件与制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有防尘功能的微机电元件与制作方法。该具有防尘功能的微机电元件，包含：一个基板，其上包含微机电元件区域；以及沉积于该基板上，防护微尘粒子的防尘层。 | ||
| 申请公布号 | CN101746704A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200810186731.4 | 申请日期 | 2008.12.12 |
| 申请人 | 原相科技股份有限公司 | 发明人 | 王传蔚;李昇达 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 主权项 | 一种具有防尘功能的微机电元件，其特征在于，包含：一个基板，其上包含微机电元件区域；以及沉积于该基板上、防护微尘粒子的防尘层。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||