| 发明名称 | 一种硅片优化调度的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片优化调度的方法，包括：步骤a、获取宏观传输序列；步骤b、将所述宏观传输序列变换为多个子任务序列；步骤c、在任务运行时，分别从各个子任务序列中选取至少一个子任务；步骤d、依据预置规则，在能够顺畅执行的前提下，选取其中优先级最高的一个子任务加以执行；步骤e、重复上述步骤c和步骤d，完成对硅片的传输和处理。本发明在宏观传输序列基础上，对更底层的微观传输序列执行策略进行了优化，提高子任务执行的并发度，提高了Job的执行效率，进而提高了机台的产率。 | ||
| 申请公布号 | CN101751025A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200810239832.3 | 申请日期 | 2008.12.12 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 易璨 |
| 分类号 | G05B19/418(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/418(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 一种硅片优化调度的方法，其特征在于，包括：步骤a、获取宏观传输序列；步骤b、将所述宏观传输序列变换为多个子任务序列；步骤c、在任务运行时，分别从各个子任务序列中选取至少一个子任务；步骤d、依据预置规则，在能够顺畅执行的前提下，选取其中优先级最高的一个子任务加以执行；步骤e、重复上述步骤c和步骤d，完成对硅片的传输和处理。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||