集成电路中的电感及制作方法

摘要

本发明公开了集成电路中电感的制作方法，包括以下步骤：1，在介质层上淀积一层金属；2，采用光刻工艺定义出电感的图形；3，进行金属层刻蚀，去除光刻胶，形成金属线圈；4，接着淀积介质层，并在介质层上形成通孔；5，填充通孔的填充金属；6，重复步骤1)至步骤5)以增加电感的层数，直到形成最后一层金属线圈。集成电路中的电感，包含多层相互平行的金属线圈，相邻金属线圈通过连接接触孔相连接。利用本发明方法制作的集成电路电感包括多层金属线圈，增强了电感的磁场强度。

主权项

一种集成电路中电感的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在介质层上淀积一层金属；2)采用光刻工艺定义出电感的图形；3)进行金属层刻蚀，去除光刻胶，形成金属线圈；4)接着淀积介质层，并在介质层上形成通孔；5)填充通孔的填充金属；6)重复步骤1)至步骤5)以增加电感的层数，直到形成最后一层金属线圈。