热式流体流量传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中，上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应力的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5A、5B)和下游侧测温电阻体(5C、5D)的下层的绝缘膜，交替层叠了具有压缩应力的膜(第一绝缘膜(14)、第三绝缘膜(16)和第五绝缘膜(18))和具有拉伸应力的膜(第二绝缘膜(15)和第四绝缘膜(17))，且配置了2层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明的热式流体流量传感器，能够消除应力不均衡，提高检测灵敏度且提高可靠性。

主权项

一种热式流体流量传感器，其用于测量空气流量，其具有设置在薄膜结构体内的发热电阻体和与上述发热电阻体相邻而设置的测温电阻体，其特征在于：在上述发热电阻体和上述测温电阻体的上层和下层具有层叠了第一膜和第二膜而成的绝缘膜，其中，上述第一膜具有拉伸应力，上述第二膜具有压缩应力，至少在上述测温电阻体的下层的上述绝缘膜中，上述第一膜和上述第二膜被交替形成，且上述下层的上述绝缘膜具有2层以上的上述第一膜。