匹配器及等离子体设备

摘要

本发明公开了一种匹配器及等离子体设备，匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，在传感器与匹配网络之间或之后加入变压器，可以通过变压器与可变阻抗器件的配合设置预设值，在工艺过程初始使等离子体处于较稳定的起辉状态；还可以通过变压器的初级线圈和次级线圈的变化，以对应不同的工艺气体和工况，使等离子体稳定迅速地起辉，并缩短匹配时间，能够提高晶圆处理的效率。

主权项

一种匹配器，其特征在于，该匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，所述输入端与输出端之间设有变压器。