用于制造图像传感器的方法

摘要

本发明提供一种用于制造图像传感器的方法。在此方法中，由氧化物层形成微透镜。可利用氮气作为掺杂剂来形成用于微透镜的氧化物层。可在氧化物层上形成多个光致抗蚀剂图案，并可利用光致抗蚀剂图案作为掩模来蚀刻氧化物层，以形成具有恒定曲率的氧化物层微透镜。在进一步的实施例中，可在形成氧化物层微透镜期间对光致抗蚀剂图案施加等离子体处理。利用本发明的方法，能够将多个微透镜之间的间隙最小化，从而改善氧化物层微透镜的性质。

主权项

一种用于制造图像传感器的方法，包括以下步骤：提供包含光电二极管的衬底；利用氮气作为掺杂剂，在所述衬底上形成氧化物层；在所述氧化物层上形成多个光致抗蚀剂图案；以及利用所述光致抗蚀剂图案作为掩模，由所述氧化物层形成多个氧化物层微透镜，其中形成所述多个氧化物层微透镜的步骤包括：利用所述光致抗蚀剂图案作为掩模，初步蚀刻所述氧化物层；对所述光致抗蚀剂图案执行等离子体处理；以及利用被等离子体处理过的光致抗蚀剂图案作为掩模，蚀刻被初步蚀刻的氧化物层。