发明名称 一种多晶硅四面四角的磨削方法
摘要 本发明提供一种多晶硅四面四角的磨削方法,其主要是将一对杯形砂轮沿横向轴相对设置,使两个所述杯形砂轮之间形成一外环磨削空间以及一内环调整空间,并在所述二杯形砂轮绕横向轴旋转时,输送所述多晶硅通过所述外环磨削空间进行双面或双角磨削,当所述多晶硅进至所述内环调整空间时,令所述多晶硅绕其纵向轴旋转以转换到另一待磨削面或待磨削角,并从所述内环调整空间内送出所述多晶硅,以使其通过所述外环磨削空间时再进行另一双面或双角的磨削,如此以简化了现有技术中的磨削过程,并确保该多晶硅的精确磨削尺寸,进而提高了工作效率以及该多晶硅的品质。
申请公布号 CN101745854A 申请公布日期 2010.06.23
申请号 CN200810204589.1 申请日期 2008.12.15
申请人 上海日进机床有限公司 发明人 卢建伟
分类号 B24B9/06(2006.01)I;B24B7/17(2006.01)I 主分类号 B24B9/06(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种多晶硅四面四角的磨削方法,其特征在于:将一对具有环形磨削面的杯形砂轮沿横向轴相对设置,使所述二杯形砂轮之间形成一外环磨削空间以及一内环调整空间,并在所述二杯形砂轮绕横向轴旋转时,输送所述多晶硅通过所述外环磨削空间进行双面或双角磨削,当所述多晶硅进至所述内环调整空间时,令所述多晶硅绕其纵向轴旋转预设角度,并自所述内环调整空间送出所述多晶硅,以使其通过所述外环磨削空间时进行另一双面或双角磨削。
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