| 发明名称 | 具有线性源的群集工具 | ||
| 摘要 | 对组合了群集腔室与线性源的系统和方法进行了说明。在托板上固定多个晶片。群集腔室中的自动控制装置在连接至群集腔室的多个腔室之间移动托板。连接至群集腔室的至少一个腔室包括线性沉积源，其中托板能够相对于该线性沉积源移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101755330A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200880024736.5 | 申请日期 | 2008.05.12 |
| 申请人 | 太阳能公司 | 发明人 | 托马斯·帕斯;阮信晓 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 陈源;张天舒 |
| 主权项 | 一种方法，包括：在群集工具的第一腔室中接收多个晶片；以及在所述群集工具的第一腔室中的线性源下移动所述多个晶片。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||