准分子灯装置

摘要

提供一种准分子灯装置，即使高速输送被处理物，也不会有空气被卷入装置内，而且以惰性气体置换移动的被处理物表面，能够高效地照射真空紫外线，具备：灯罩(10)，被收容于该灯罩内的准分子灯(30)，及输送机构(40)，一面输送被处理物(W)一面照射准分子光，其特征为：在比上述灯罩靠输送方向上游的一侧连结设置有被处理物被输入的前室(20)，在该前室内，设置有用于以惰性气体置换该前室内的惰性气体导入口(22)以及沿着输送方向对该被处理物喷出惰性气体的气体喷出单元(25)，该被处理物是聚乙烯醇、三醋酸纤维素、聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚乙烯的任一薄膜状的树脂材料。

主权项

一种准分子灯装置，一面输送被处理物一面照射准分子光，该准分子灯装置具备：灯罩；准分子灯，被收容于该灯罩内；以及输送机构；其特征在于，输入被处理物的前室连结设置在比上述灯罩靠近输送方向上游的一侧；在该前室内，设置有惰性气体导入口以及气体喷出单元，该惰性气体导入口用于将该前室内的气体置换为惰性气体，该气体喷出单元用于沿着输送方向对该被处理物喷出惰性气体；该被处理物是由聚乙烯醇、三醋酸纤维素、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯中任一一种形成的薄膜状的树脂材料。