一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法

摘要

本发明涉及一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法，采用的设备及用具包括置片箱，喷砂枪，风机，气体压缩机，倒角砂轮及电机；所述置片箱的上部具有开口，且由隔离网分隔为上下层；所述气体压缩机与喷砂枪的气管相连；所述的风机与置片箱相通；使用时，先将破碎镀膜外延硅片分片间隔置于置片箱的隔离网上，把喷砂枪的枪口从置片箱的开口处插入，开启风机和气体压缩机，打开喷砂枪，从喷砂枪的吸管吸入金刚砂，对破碎镀膜外延硅片扫喷，直到把表面镀层完全剥离为止；之后，将倒角砂轮装在电机上打磨硅片边缘镀层直至磨完为止。采用本发明进行破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理，与原来采用酸液腐蚀的化学方法截然不同，生产成本低，且能提高成品率。

主权项

一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法，采用的设备及用具包括置片箱，喷砂枪，风机，气体压缩机，倒角砂轮及电机；所述置片箱的上部具有开口，且置片箱由隔离网分隔为上下层；所述气体压缩机与喷砂枪的气管相连；所述的风机与置片箱相通；其特征在于先将破碎镀膜外延硅片分片间隔置于置片箱的隔离网上，把喷砂枪的枪口从置片箱的开口处插入，开启风机和气体压缩机，打开喷砂枪，从喷砂枪的吸管吸入金刚砂，对破碎镀膜外延硅片扫喷，直到把表面镀层完全剥离为止；之后，将倒角砂轮装在电机上打磨硅片边缘镀层直至磨完为止。