静压轴承

摘要

一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。即使在为了在滑行面(2a)上浮起而从喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，空气被吹到进入在载物台(2)的表面上形成的微细的孔部的粒子(P)、或附着在载物台表面上的粒子(P)上的情况下，通过配置在喷出部(11)的外周侧的吸引面(12a)，将所吹的空气(A1)的一部分即空气(A2)与粒子(P)一起吸引回收。并且，将吸引面(12a)配置为比喷出面(11a)的下端后退，而容易使粒子(P)的吸引和空气的喷出平衡，由此，使静压轴承(10)在滑行面(2a)上浮起并非接触地滑行，并且可靠地捕捉向载物台装置(1)周边飞散的粒子(P)。

主权项

一种静压轴承，沿着规定的构造物的滑行面非接触地滑行，其特征在于，具有：喷出部，具有对上述滑行面喷出空气的喷出面；以及吸引部，具有对从上述喷出面对上述滑行面喷出的空气进行吸引的吸引面，上述喷出部具有：在内部形成有孔的烧结件；第一外周壁部，与上述烧结件的外周面的整个区域紧密接触地设置，防止空气从上述烧结件的外周面泄漏；以及上壁部，形成向上述烧结件供给空气的空间，上述吸引部具有：第二外周壁部，设置在上述第一外周壁部的外周侧；和吸引空间，通过上述第一外周壁部与上述第二外周壁部的夹持而形成，上述吸引部的吸引面，形成在上述第二外周壁部的下端部与上述第一外周壁部之间，并且被配置为比上述喷出部的下端后退。