振动镜部件

摘要

本振动镜部件包括以能振动的方式支承镜面部分的一对第一梁部分、分别与该成对第一梁部分连接的一对第二梁部分、以及分别与该成对第二梁部分连接的一对驱动部分。镜面部分布置在由成对第二梁部分和成对驱动部分所包围的区域中。使成对第一梁部分的宽度和成对第二梁部分的宽度不超过成对驱动部分的宽度的一半。

主权项

一种振动镜部件，它包括：反射光线的镜面部分；一对第一梁部分，所述成对第一梁部分的第一端部分别与所述镜面部分的两侧连接用于以能振动的方式支承所述镜面部分；一对第二梁部分，所述成对第二梁部分分别连接于所述成对第一梁部分的第二端部；以及一对驱动部分，所述成对驱动部分分别与所述成对第二梁部分的第一端部和第二端部连接以使所述镜面部分振动；其中所述镜面部分布置在平面图中被所述成对第二梁部分和所述成对驱动部分包围的区域中，且使所述成对第一梁部分的宽度和所述成对第二梁部分的宽度小于所述成对驱动部分的宽度。