| 发明名称 | 一种含氟组合物及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种含氟组合物，该含氟组合物含有：氟化物，载体和一种改性聚丙烯酸酯。本发明克服了现有的含氟组合物存在的多晶硅腐蚀速率大的缺陷，对多晶硅具有较低的腐蚀速率，因此其在半导体晶片清洗和太阳能电池等领域具有良好的应用前景。本发明还公开了含氟组合物在清洗半导体晶片中的应用。 | ||
| 申请公布号 | CN101748008A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200810204610.8 | 申请日期 | 2008.12.15 |
| 申请人 | 安集微电子(上海)有限公司 | 发明人 | 刘兵;彭洪修;彭杏 |
| 分类号 | C11D7/28(2006.01)I;C11D7/32(2006.01)I | 主分类号 | C11D7/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人 | 李佳铭 |
| 主权项 | 一种含氟组合物，包含改性聚丙烯酸酯、氟化物和载体。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 | ||