发明名称 锌-锂合金材料及其制备方法
摘要 本发明公开了一种锌-锂合金材料及其制备方法,其中Li的含量为0.5-4.0%(质量)、Zn为余量,以及应用该合金生产用于集成电路硅片等离子溅射靶材的技术。该锌-锂合金的制备方法如下:按锂含量高于所需要的配比10-20%称重高纯锂、高纯锌;将锌放入高纯石墨坩埚,并将坩埚放入真空炉内,锂用高纯锌箔包裹放入真空炉的加料斗内;抽真空;升温至450~500℃使锌熔化;充氩气;加入高纯锂,在600~650℃精炼10~15分钟;浇铸,得到锌-锂合金材料。
申请公布号 CN101748313A 申请公布日期 2010.06.23
申请号 CN200810239842.7 申请日期 2008.12.19
申请人 北京有色金属与稀土应用研究所 发明人 章明溪;黄小凯
分类号 C22C18/00(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;B22D21/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;B23P15/00(2006.01)I 主分类号 C22C18/00(2006.01)I
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人 朱丽华
主权项 一种锌-锂合金,其特征在于,其组成及质量百分比为Li:0.5-4.0%,Zn:余量。
地址 100012 北京市安定门外大羊坊2号