微机电系统显示器装置及其制造方法

摘要

本发明提供MEMS装置，其包括在LCD或OLED制造中用以有助于在相同制造系统上进行的制造的材料。当可能时，相同或类似材料用于所述MEMS装置中的多个层，且可避免将透明导体用于部分透明电极以最小化所需材料的数目并最小化制造成本。某些层包含经选择以实现所要性质的合金。在制造工艺期间可使用对沉积层的中间处理以提供具有所要性质的层。

主权项

一种光学MEMS装置，其包含：导电光学吸收体，其形成于衬底上且经图案化以形成条带电极，其中所述光学吸收体用作所述MEMS装置的光学活性区内的所述条带电极中的主要导体；至少一个支撑结构，其形成于所述光学吸收体上；以及导电可变形层，其形成于所述至少一个支撑结构上且与所述导电光学吸收体间隔开，其中所述可变形层可以静电方式朝向所述光学吸收体层偏转。