一种单晶炉

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉，包括上旋转系统、下传动系统，所述上旋转系统与下传动系统之间通过大法兰连接，大法兰上有与气体设备相通的孔，所述上旋转系统包括分流罩，所述分流罩通过小法兰与大法兰端面连接，所述分流罩位于下传动系统的炉室内，所述分流罩呈筒状结构，且在其下端面边缘为斜面，在斜面上有通孔，该通孔与炉室及大法兰上的孔相通。本实用新型具有气体分流罩，该装置结构简单，成本低，使得通入炉室的氩气分布均匀，有利于混合气体的排出，保证了炉内的真空度，提高了硅单晶体的质量，有效延长单晶炉的寿命。

主权项

一种单晶炉，包括上旋转系统、下传动系统，所述上旋转系统与下传动系统之间通过大法兰连接，大法兰上有与气体设备相通的孔，其特征在于：所述上旋转系统包括分流罩，所述分流罩通过小法兰与大法兰端面连接，所述分流罩位于下传动系统的炉室内，所述分流罩呈筒状结构，且在其下端面边缘为斜面，在斜面上有通孔，该通孔与炉室及大法兰上的孔相通。