纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置

摘要

本实用新型涉及粉体纳米复合材料制备装置，具体为一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置，实现纳米粒子的制备，以及纳米粒子与粉体材料的原位复合，普遍适用于制备各种粉体纳米复合材料。该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统，纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶，离子源一端伸入真空室内，转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应，离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶；复合系统设有反弹盘，反弹盘设置于真空室内的下方，与转靶反射的方向相对应；进样/取样系统设有手套操作箱，真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中，手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶。

主权项

一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置，其特征在于，该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统，其中：纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶，离子源一端伸入真空室内，转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应，离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶；复合系统设有反弹盘，反弹盘设置于真空室内的下方，与转靶反射的方向相对应；进样/取样系统设有手套操作箱，真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中，手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶。