| 发明名称 | 基板输送装置以及基板输送方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供基板输送装置及基板输送方法，在基板输送装置、基板检查装置以及基板输送方法中，防止与基板之间的不必要的接触。基板输送装置具备：臂部(2、3)，它们具有用于载置基板(W)的基板载置面(2a、3a)；以及倾斜单元(4、5)，它们使基板载置面(2a、3a)相对于水平面倾斜。 | ||
| 申请公布号 | CN101752283A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200910250135.2 | 申请日期 | 2009.11.27 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 蛇石广康 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 一种基板输送装置，其特征在于，所述基板输送装置具备：一对臂部，它们具有载置基板的基板载置面；支承部件，其将所述臂部分别支承为旋转自如；以及倾斜单元，它们使所述臂部朝各自的基板载置面相互面对的方向倾斜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||