| 发明名称 | 三维形貌检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种三维形貌检测装置，其包含至少二光学检测装置及一倾斜角度调整机构。该倾斜角度调整机构将至少二光学检测装置架设其上，以调整该光学检测装置的倾斜角度。当至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。将该至少二光学检测装置撷取影像数据进行影像重建后，即可得到待测物的三维形貌。 | ||
| 申请公布号 | CN101750027A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200810180153.3 | 申请日期 | 2008.12.01 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 王伟诚;郭世炫;陈金亮 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种三维形貌检测装置，其特征在于，包含：至少二光学检测装置；一倾斜角度调整机构，将该至少二光学检测装置架设其上，以调整该至少二光学检测装置的倾斜角度；其中当该至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||