| 发明名称 | 透明导电膜及其制造方法、太阳能电池及平板显示装置 | ||
| 摘要 | 一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。本发明还提供一种透明导电膜、显示装置和太阳能电池。本发明的制造方法能够提高形成透明导电膜的速率；本发明的透明导电膜光电转换效率较高。 | ||
| 申请公布号 | CN101748405A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200810226995.8 | 申请日期 | 2008.11.28 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 徐亚伟 |
| 分类号 | C23C28/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;G06F3/042(2006.01)I | 主分类号 | C23C28/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；其特征在于包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5楼北方微电子 | ||