确定最佳高频偏压值的方法

摘要

本发明提供一种确定最佳高频偏压值的方法，其中，该方法包括如下步骤：a.选择若干待测试的晶圆；b.首先设置一个高频偏压值，将待测试晶圆依次送入反应腔内反应，测试每一个晶圆反应后反应腔内的微尘颗粒数量，然后再设置一个高频偏压值，重复上述步骤；c.首先设置一个高频偏压值，将待测试晶圆依次送入反应腔内反应，测试每一个晶圆反应后反应腔内的温度，再设置一个高频偏压值，重复上述步骤；d.在不影响反应腔内温度稳定性的前提下，选择反应腔内的微尘颗粒数量最少的高频偏压值作为最佳高频偏压值。与现有技术相比，本发明揭露了高频偏压值与微尘颗粒以及高频偏压值与反应腔温度之间的关系，并在不影响反应腔内温度稳定性的前提下，获取最佳的偏压值，在该偏压值作用下，可以有效避免电弧的产生，有效减少阴极的损伤，从而将反应腔内的微尘颗粒数量控制在最小的范围内。

主权项

一种确定最佳高频偏压值的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：a.选择若干待测试的晶圆；b.首先设置一个高频偏压值，将待测试晶圆依次送入反应腔内反应，测试每一个晶圆反应后反应腔内的微尘颗粒数量，然后再设置一个高频偏压值，重复上述步骤；c.首先设置一个高频偏压值，将待测试晶圆依次送入反应腔内反应，测试每一个晶圆反应后反应腔内的温度，再设置一个高频偏压值，重复上述步骤；d.在不影响反应腔内温度稳定性的前提下，选择反应腔内的微尘颗粒数量最少的高频偏压值作为最佳高频偏压值。