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发明名称
摘要
申请公布号 JP4487764(B2) 申请公布日期 2010.06.23
申请号 JP20040371794 申请日期 2004.12.22
申请人 发明人
分类号 C04B35/50;H01L21/3065 主分类号 C04B35/50
代理机构 代理人
主权项
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