| 发明名称 | 抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元和式(I)表示的结构单元：<img file="200910246532.2_AB_0.GIF" wi="189" he="121" />其中R<sup>1</sup>表示氢原子或甲基，Z<sup>1</sup>表示单键或-(CH<sub>2</sub>)<sub>k</sub>-CO-O-，k表示1～4的整数，环X表示未取代或取代的具有-COO-的C3-C30环状烃基，(B)树脂，含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元和式(III)表示的结构单元：<img file="200910246532.2_AB_1.GIF" wi="220" he="109" />其中R<sup>6</sup>表示氢原子或甲基，R<sup>7</sup>每次出现时独立地是直链或支链的C1-C6烷基，n表示0～4的整数，和(C)产酸剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101750891A | 申请公布日期 | 2010.06.23 |
| 申请号 | CN200910246532.2 | 申请日期 | 2009.11.30 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 安藤信雄 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;王春伟 |
| 主权项 | 1.一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元和式(I)表示的结构单元：<img file="F2009102465322C0000011.GIF" wi="800" he="393" />其中R<sup>1</sup>表示氢原子或甲基，Z<sup>1</sup>表示单键或-(CH<sub>2</sub>)<sub>k</sub>-CO-O-，k表示1～4的整数，环X表示未取代的或取代的具有-COO-的C3-C30环状烃基，(B)树脂，含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元和式(III)表示的结构单元：<img file="F2009102465322C0000012.GIF" wi="689" he="316" />其中R<sup>6</sup>表示氢原子或甲基，R<sup>7</sup>每次出现时独立地是直链或支链的C1-C6烷基，n表示0～4的整数，和(C)产酸剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||