抗反射硬罩幕组合物及使用该组合物的方法（一）

摘要

用于平版印刷制程之抗反射硬罩幕组合物，以及使用该组合物的方法，亦揭露以此方法制造半导体元件。本发明之抗反射硬罩幕组合物包括：a)聚合物成分，包括第一单体单元与第二单体单元，其中第一单体单元与第二单体单元两者皆含有芳香基团，并且其中至少第一单体单元与第二单体单元之一具有酚基；b)交联成份；以及c)酸催化剂。

主权项

一种抗反射硬罩幕组合物，包括：a)聚合物成分，包括第一单体单元与第二单体单元，其中第一单体单元与第二单体单元两者皆含有芳香基团，并且其中第一单体单元含有芴基或亚芴基且第二单体单元含有酚基；b)交联成份；以及c)酸催化剂。