承载运转装置

摘要

一种承载运转装置，系承载至少一物件以使该物件进行检测制程或加工制程。承载运转装置包含一承载结构以及一转轴结构。承载结构具有一承载盘及一定位盘，其中，承载盘具有一承载平面，而定位盘系与承载平面相对设置，且定位盘之周缘具有复数定位开口以定位物件于承载平面之位置。转轴结构系与承载结构连结，并使承载结构旋转。

主权项

一种承载运转装置，系承载至少一物件，该承载运转装置包含：一承载结构，具有一承载盘及一定位盘，该承载盘具有一承载平面，该定位盘系与该承载平面相对设置，且该定位盘之周缘具有复数定位开口以限制该物件于承载平面之位置；以及一转轴结构，与该承载结构连结，并使该承载结构旋转。