一种侦测装置及其侦测方法

摘要

本发明系揭示一种侦测装置及其侦测方法，其适用于一曝光机内部。该侦测装置系包含一侦测电路以及复数个感知元件，其中该侦测电路系用于侦测该曝光机内导轨之各表面与相对应滑道之实际间距，并根据所侦测到之实际间距以产生一侦测结果。该等感知元件系根据该侦测电路所产生之侦测结果以决定是否执行显示动作。藉此，可有效地避免导轨与对应的调整装置相互接触而受到损伤，从而降低产量损失及减少人力的付出。

主权项

一种侦测装置，其适用于侦测曝光机内部导轨之各表面与相对应滑道之间距，该侦测装置包含：一侦测电路，设置于与导轨之各表面呈相对位置的滑道内，并执行一侦测运作以侦测该曝光机内导轨之各表面与相对应滑道之实际间距是否维持于曝光机可正常工作之一特定间距范围内，且根据所侦测到之实际间距产生一侦测结果；复数个侦测区域，其设置于侦测电路内部，并可根据该侦测电路之侦测结果产生一显示讯号，以及复数个感知元件，其电性连接该等侦测区域，并用于接收由侦测区域所产生之显示讯号，且根据该显示讯号以决定是否执行显示动作。