| 摘要 |
1. Устройство для покрытия подложки, проходящей сквозь него, содержащее: ! первое обрабатывающее отделение, выполненное с возможностью прохождения подложки сквозь него по первому проходу первой длины, продолжающемуся от входа до выхода из первого обрабатывающего отделения, и для покрытия подложки посредством первого газа; ! второе обрабатывающее отделение, выполненное с возможностью прохождения подложки сквозь него по второму проходу второй длины, продолжающемуся от входа к выходу второго обрабатывающего отделения, и для покрытия подложки посредством второго газа, причем первый газ и второй газ являются одинаковыми или различными; и ! отделение насоса, расположенное между первым обрабатывающим отделением и вторым обрабатывающим отделением, причем отделение насоса выполнено с возможностью прохождения через него подложки по проходу с длиной прохода, продолжающегося от входа к выходу отделения насоса, при этом проход находится в оперативной связи с первым проходом и вторым проходом; ! причем отделение насоса находится в оперативной связи с первым обрабатывающим отделением и вторым обрабатывающим отделением и в прямой оперативной связи с проходом для откачивания оттуда газа посредством насосов; ! при этом отделение насоса выполнено с возможностью приближенного изолирования первого газа и второго газа друг относительно друга в связи с процессом покрытия подложки, когда длина прохода меньше в два раза первой длины, второй длины или среднего из первой длины и второй длины. ! 2. Устройство по п.1, в котором обеспечивается соотношение давления первого газа в первом обрабатывающем отделении и давления перв� |
