发明名称 DISPOSITIF DE TEST DE CIRCUIT INTEGRE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE
摘要 <p>L'invention a pour objet un dispositif 1 de test de circuit intégré 2 comportant - une platine 3 pour recevoir le circuit intégré 2 et le soumettre au test, - la platine 3 comportant des circuits 4 pour alimenter et faire fonctionner le circuit intégré 2 et des circuits 5 pour mesurer le fonctionnement du circuit intégré 2 pendant le test, - un dispositif d'irradiation 6 pour soumettre le circuit 2 à un bombardement de protons 7, caractérisé en ce qu'il comporte un masque 8 d'épaisseur variable interposé entre une région d'accès 9 du bombardement sur le circuit intégré 2 et une zone implantée 10 du circuit intégré 2.</p>
申请公布号 FR2939964(A1) 申请公布日期 2010.06.18
申请号 FR20080058737 申请日期 2008.12.17
申请人 EUROPEAN AERONAUTIC DEFENCE AND SPACE COMPANY EADS FRANCE 发明人 MILLER FLORENT;WEULERSSE CECILE;BOURGEROL ANTONIN;CARRIERE THIERRY;HEINS PATRICK;HAZO SAMUEL
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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