发明名称 |
DISPOSITIF DE TEST DE CIRCUIT INTEGRE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE |
摘要 |
<p>L'invention a pour objet un dispositif 1 de test de circuit intégré 2 comportant - une platine 3 pour recevoir le circuit intégré 2 et le soumettre au test, - la platine 3 comportant des circuits 4 pour alimenter et faire fonctionner le circuit intégré 2 et des circuits 5 pour mesurer le fonctionnement du circuit intégré 2 pendant le test, - un dispositif d'irradiation 6 pour soumettre le circuit 2 à un bombardement de protons 7, caractérisé en ce qu'il comporte un masque 8 d'épaisseur variable interposé entre une région d'accès 9 du bombardement sur le circuit intégré 2 et une zone implantée 10 du circuit intégré 2.</p> |
申请公布号 |
FR2939964(A1) |
申请公布日期 |
2010.06.18 |
申请号 |
FR20080058737 |
申请日期 |
2008.12.17 |
申请人 |
EUROPEAN AERONAUTIC DEFENCE AND SPACE COMPANY EADS FRANCE |
发明人 |
MILLER FLORENT;WEULERSSE CECILE;BOURGEROL ANTONIN;CARRIERE THIERRY;HEINS PATRICK;HAZO SAMUEL |
分类号 |
H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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