HOCHENERGIE ELEKTRONEN BEUGUNGSGERÄT,申请号DE19996042340-传众专利搜索

发明名称	HOCHENERGIE ELEKTRONEN BEUGUNGSGERÄT
摘要
申请公布号	DE69942340(D1)	申请公布日期	2010.06.17
申请号	DE19996042340	申请日期	1999.09.10
申请人	JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY, KAWAGUCHI	发明人	KOINUMA, HIDEOMI;KAWASAKI, MASASHI
分类号	H01J37/295;G01Q10/04;G01Q30/06;H01J37/073;H01J37/18;H01L21/203	主分类号	H01J37/295
代理机构		代理人
主权项
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