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Verfahren zur Herstellung von silylierten Monocarbonsäuren durch Umsetzung von C-C-Monocarbonsäuren mit Halogensilanen der allgemeinen Formel (I) SiHalR, worin Hal ein Halogenatom, ausgewählt aus der Gruppe, Fluor, Chlor, Brom oder Iod ist, R unabhängig voneinander Wasserstoff, C-C-Alkyl oder Aryl ist, und x eine ganze Zahl von 0 bis 3 ist, unter Bildung von Halogenwasserstoff in Gegenwart einer Hilfsbase, in dem die Hilfsbase mit dem Halogenwasserstoff ein Salz bildet, das mit dem Wertprodukt oder der Lösung des Wertproduktes in einem geeigneten Lösungsmittel zwei nicht mischbare Phasen ausbildet und abgetrennt wird.
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