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发明名称 Sputter-Target mit Vorrichtung zum Kühlen des Targets
摘要
申请公布号 DE112006003027(B4) 申请公布日期 2010.06.17
申请号 DE200611003027T 申请日期 2006.10.13
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP. 发明人 RICHERT, HENDRYK;WIELAND, PATRICK;SCHMIDT, ARMIN;JANICKE, GERALD;WEIDL, ROLAND;GRUENLER, BERND E.;TILLER, HANS-JUERGEN;KRILTZ, UWE
分类号 H01J37/34;C23C14/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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