摘要 |
Zur Lösung der Aufgabe, einen verbesserten Endblock anzugeben, bei dem die Erwärmung durch Induktionswirbelströme, die beispielsweise beim Wechselspannungssputtern auftreten können, gegenüber bekannten Endblöcken deutlich verringert ist, wird ein Endblock für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target vorgeschlagen, der ein Endblockgehäuse mit einer Anschlussfläche zur Anringung des Endblocks an einer Stützeinrichtung, mit einem Drehlager zur drehbaren Lagerung des rotierenden Targets und mit mindestens einer Stromführungseinrichtung umfasst, welches im Betrieb des Endblocks Strom durch das Endblockgehäuse führt, wobei das Endblockgehäuse so ausgebildet ist, dass jeder die Stromführungseinrichtung umschließende Strompfad im Endblockgehäuse an mindestens einer Stelle eine Unterbrechung aufweist.
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