发明名称 Endblock für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target
摘要 Zur Lösung der Aufgabe, einen verbesserten Endblock anzugeben, bei dem die Erwärmung durch Induktionswirbelströme, die beispielsweise beim Wechselspannungssputtern auftreten können, gegenüber bekannten Endblöcken deutlich verringert ist, wird ein Endblock für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target vorgeschlagen, der ein Endblockgehäuse mit einer Anschlussfläche zur Anringung des Endblocks an einer Stützeinrichtung, mit einem Drehlager zur drehbaren Lagerung des rotierenden Targets und mit mindestens einer Stromführungseinrichtung umfasst, welches im Betrieb des Endblocks Strom durch das Endblockgehäuse führt, wobei das Endblockgehäuse so ausgebildet ist, dass jeder die Stromführungseinrichtung umschließende Strompfad im Endblockgehäuse an mindestens einer Stelle eine Unterbrechung aufweist.
申请公布号 DE102008058528(A1) 申请公布日期 2010.06.17
申请号 DE200810058528 申请日期 2008.11.21
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 HEINRICH, HANS-JUERGEN;SEYFERT, ULF;TESCHNER, GOETZ
分类号 H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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