Mehrachsige Verbundlinse, Strahlvorrichtung und Verfahren zur Anwendung dieser kombinierten Linse,申请号DE20026036302-传众专利搜索

发明名称	Mehrachsige Verbundlinse, Strahlvorrichtung und Verfahren zur Anwendung dieser kombinierten Linse
摘要
申请公布号	DE60236302(D1)	申请公布日期	2010.06.17
申请号	DE20026036302	申请日期	2002.12.17
申请人	ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH	发明人	FROSIEN, JUERGEN;ADAMEC, PAVEL
分类号	H01J37/145;H01J37/317	主分类号	H01J37/145
代理机构		代理人
主权项
地址