发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60332500(D1) 申请公布日期 2010.06.17
申请号 DE2003632500 申请日期 2003.07.11
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 TOKUDA, NORIFUMI;KUSUNOKI, SHIGERU
分类号 H01L29/06;H01L21/08;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/32;H01L29/739 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
地址