对准标记的检测方法以及装置

摘要

本发明提供一种可进行正确的工件标记检测的对准标记的检测方法及装置。其解决手段为使用对准显微镜(10)，进行工件(W)的表面影像显像，将作为工件标记(WAM)应登记的呈现方式(形状或明暗或色调)不同的多个图形，作为工件标记WAM1～n登记到控制部(11)的存储部(11b)。检测工件标记时，使用该工件标记WAM1～n，进行检索区域内图形的检索，以比较·评估部(11c)比较所登记的工件标记WAM1～n与检索区域内的图形求得一致度的点数，点数例如超过预定值时，判定该图形为工件(W)上的工件标记(WAM)。对位控制部(11e)使用该工件标记(WAM)进行掩模(M)与工件(W)的对位。

主权项

一种对准标记的检测方法，是以突起或凹陷形成在工件上的工件·对准标记的检测方法，其特征为，包含：第1步骤，对工件上的图形进行显像；第2步骤，逐一读取事先登记在存储部的作为工件·对准标记而应检测的多个登记图形，比较进行了上述显像的工件上的图形和上述所读取了的登记图形，评估两者一致度；及第3步骤，采用进行了上述显像的工件上的图形，及获得最高一致度的上述登记图形或者获得事先被设定的值以上的一致度的上述登记图形，将与该登记图形的一致度高的显像图形作为工件对准标记进行检测。