FUNCTIONAL DEVICE AND METHOD FOR FORMING OXIDE MATERIAL,申请号KR20077015536-传众专利搜索

发明名称	FUNCTIONAL DEVICE AND METHOD FOR FORMING OXIDE MATERIAL
摘要
申请公布号	KR100964420(B1)	申请公布日期	2010.06.16
申请号	KR20077015536	申请日期	2006.01.06
申请人		发明人
分类号	C23C14/08;C23C14/28;C30B29/16;H01L33/42	主分类号	C23C14/08
代理机构		代理人
主权项
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