电容器及制造电容器的方法

摘要

本发明系提供一种半导体装置，其系具有由一高K电介质及一对在该电介质两侧之相互连接所形成之电容，本发明亦提供一种制造此种半导体装置之方法。该相互连接包含一通孔及一金属层。

主权项

一种电容器，其包含：一第一电极，其系形成于一半导体衬底内，该第一电极包含一第一通孔及一连接于该第一通孔之金属层，该第一通孔及连接于该第一通孔的金属层具有相同的第一轮廓，且该第一通孔是配置在连接于该第一通孔的金属层的下方，该第一电极系电连接于该半导体衬底之一第一区域；一第二电极，其系形成于该半导体衬底内，该第二电极包含一第二通孔及一连接于该第二通孔之金属层，该第二通孔及连接于该第二通孔的金属层具有相同的第二轮廓，且该第二通孔是配置在连接于该第二通孔的金属层的下方，该第二电极系电连接于该半导体衬底之一第二区域；以及一高K电介质，其系置于该第一电极和该第二电极之间；以及一层间介电物质，其中该第一电极和该第二电极系形成于该层间介电物质内，该层间介电物质具有低于3.9之一介电常数。