多轴电容式加速度计

摘要

一种多轴电容式加速度计，包括具有多个感测电极的基板及结构层。结构层包括多个固定于基板的固定座、可动的第一质量块、一组第一弹性结构、多个固定感测块、第二质量块、第三质量块、第二弹性结构及第三弹性结构。第一质量块浮置于基板上且具有对称的第一开口及第二开口。第一弹性结构连接固定座与第一质量块。固定感测块固定于基板上，其中各固定感测块上的梳状结构与第一质量块上的梳状结构间形成感测电容的结构。第二质量块及第三质量块浮置于基板上且分别位于第一开口及第二开口内，并与基板上的感测电极形成二个差动式感测电容。第二质量块及第三质量块分别通过第二弹性结构及第三弹性结构个别非对称地悬挂在第一质量块上。

主权项

一种多轴电容式加速度计，包括：基板，该基板的表面上设置有两个以上的感测电极；结构层，包括：多个固定座，固定于该基板的该表面上；第一质量块，浮置于该基板的该表面上方，该第一质量块具有中心轴以及位于该第一质量块内部的第一开口及第二开口，该第一开口及该第二开口以该第一质量块的中心轴为中心而对称地配置于该中心轴的相对两侧；第一弹性结构，连接该固定座与该第一质量块；多个固定感测块，邻近该第一质量块并固定于该基板的该表面上，其中每一固定感测块与该第一质量块之间形成电容结构；第二质量块及第三质量块，浮置于该基板的感测电极上方，形成感测电容，并且分别位于该第一质量块的该第一开口及该第二开口内；以及第二弹性结构及第三弹性结构，该第二弹性结构及该第三弹性结构分别将该第二质量块及该第三质量块不对称地悬挂在该第一质量块的该第一开口及该第二开口内并与之衔接，当受Z轴方向的加速度作用时，该第二质量块及该第三质量块将沿平行于X轴的转动轴转动，且第二质量块及该第三质量块的转动轴相互平行并以该第一质量块的中心轴为中心而对称地配置于该中心轴的相对两侧。