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<p>Reivindicacion 1: Un método de control de flujo de una suspension a una herramienta de planarizacion química mecánica (CMP), que comprende: proveer una bolsa descartable precargada con la suspension; caracterizado por el hecho de que comprende: situar la bolsa descartable en comunicacion de fluidos con la salida de la suspension; conectar la herramienta de planarizacion química mecánica a dicha salida de suspension; y hacer colapsar la bolsa descartable para expeler dicha suspension de la bolsa descartable hacia la herramienta de planarizacion química mecánica a un caudal deseado.</p> |
