发明名称 |
LED后段流程中的测试及分选方法 |
摘要 |
一种LED后段流程中的测试及分选方法,其特征在于包括以下步骤:第一步骤:测试一晶圆上产生的每一晶粒的属性数据与第一绝对坐标;第二步骤:根据所述属性数据与所述第一绝对坐标产生一晶圆地图档案;第三步骤:接收所述晶圆并读入所述晶圆地图档案;第四步骤:根据所述第一绝对坐标移动一捡取装置到一第一位置;第五步骤:提供一影像信息补偿所述第一位置的误差,使所述捡取装置移动到一第二位置,所述第二位置具有一第二绝对坐标;第六步骤:比对所述第二绝对坐标与所述第一绝对坐标,当两者之间的误差在一允许范围内时,根据所述第一绝对坐标对应的属性数据分选所述晶粒。 |
申请公布号 |
CN101740431A |
申请公布日期 |
2010.06.16 |
申请号 |
CN200810177713.X |
申请日期 |
2008.11.11 |
申请人 |
旺矽科技股份有限公司 |
发明人 |
刘永钦;蔡振扬;陈秋旺;何宜达 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I;B07C5/34(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 |
代理人 |
张恒康 |
主权项 |
一种LED后段流程中的测试及分选方法,其特征在于包括以下步骤:第一步骤:测试一晶圆上产生的每一晶粒的属性数据与第一绝对坐标;第二步骤:根据所述属性数据与所述第一绝对坐标产生一晶圆地图档案;第三步骤:接收所述晶圆并读入所述晶圆地图档案;第四步骤:根据所述第一绝对坐标移动一捡取装置到一第一位置;第五步骤:提供一影像信息补偿所述第一位置的误差,使所述捡取装置移动到一第二位置,所述第二位置具有一第二绝对坐标;第六步骤:比对所述第二绝对坐标与所述第一绝对坐标,当两者之间的误差在一允许范围内时,根据所述第一绝对坐标对应的属性数据分选所述晶粒。 |
地址 |
中国台湾新竹县竹北市中和街155号1-3楼 |