基于集成平面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器

摘要

本发明涉及基于集成面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，它包括平面环形微腔、光波导、基底、与光波导相连的入射光纤及出射光纤，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合；其特点是所述微位移传感器还有悬臂梁与探针，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面；是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境，被测物体范围广，除普通的金属，非金属物质表面外，也可对生物细胞进行表面测量。其测量精度可达10-4埃。

主权项

一种基于集成平面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，包括平面环形微腔(1)、光波导(2)、基底(5)、与光波导相连的入射光纤(6)及出射光纤(7)，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合，平面环形微腔与光波导之间存在有0～2μm距离；其特征在于：所述微位移传感器还有悬臂梁(3)与探针(4)，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面。