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发明名称 SYSTEMS AND METHODS FOR CREATING PERSISTENT DATA FOR A WAFER AND FOR USING PERSISTENT DATA FOR INSPECTION-RELATED FUNCTIONS
摘要
申请公布号 EP2195834(A2) 申请公布日期 2010.06.16
申请号 EP20080831947 申请日期 2008.09.22
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 BHASKAR, KRIS;BHASKAR, CHETANA;KULKARNI, ASHOK;ROSENGAUS, ELIEZER;CAMPOCHIARO, CECELIA;MAHER, CHRIS;DUFFY, BRIAN;KHULLAR, ANEESH;KOHLI, ALPA;BALASUBRAMANIAN, LALITA;BHATTACHARYYA, SANTOSH;MAHADEVAN, MOHAN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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