| 发明名称 | 用于盘形物品的湿处理的装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于盘形物品湿处理的装置，该装置包括：用于夹持和旋转盘形物品的旋转夹头，和用于朝向盘形物品第一表面的第一周边区域分配处理液的内缘喷嘴，其中，第一表面面向旋转夹头，并且第一周边区域被定义为第一表面具有内半径(r1)的区域，该内半径(ri)大于盘形物品的半径(ra)减1厘米，其中，内缘喷嘴以固定方式被设置在盘形物品(当置于旋转夹头上时)与旋转夹头之间，其中为了对盘形物品的第一表面供给处理液，内缘喷嘴通过中心管进给，该中心管以固定方式设置且在中心穿过旋转夹头。 | ||
| 申请公布号 | CN101743615A | 申请公布日期 | 2010.06.16 |
| 申请号 | CN200880024556.7 | 申请日期 | 2008.07.03 |
| 申请人 | 兰姆研究股份公司 | 发明人 | M·普格尔;A·施瓦茨-福特纳;D·弗兰克 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 朱德强 |
| 主权项 | 一种用于单一盘形物品的湿处理的装置，该装置包括：用于夹持和旋转盘形物品的旋转夹头，和用于朝向盘形物品第一表面的第一周边区域分配处理液的内缘喷嘴，其中，第一表面面向旋转夹头，并且第一周边区域被定义为第一表面的具有内半径(ri)的区域，该内半径(ri)大于盘形物品的半径(ra)减1厘米，其中，内缘喷嘴以固定方式被设置在盘形物品(当置于旋转夹头上时)与旋转夹头之间，其中，内缘喷嘴通过中心管进给，用于对盘形物品的第一表面供给处理液，该中心管以固定方式设置且在中心穿过旋转夹头。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||