五维驱动器

摘要

本实用新型涉及真空设备。五维驱动器，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，Y向位移板或X向位移板与装有两个旋转驱动器，两个旋转驱动器导入棒端头分别与样品架两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠与连接杆端头连接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆。本实用新型可实现在超高真空环境下的五维立体驱动，是实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入的重要手段。

主权项

五维驱动器，其特征是：X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，Y向位移板或X向位移板装有两个旋转驱动器，两个旋转驱动器导入棒端头分别与样品架两端固定连接，样品架中心通过弹簧钢珠与连接杆端头连接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆。